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솔루션

반도체 검사 (SEMI)

TR7900Q SII

INTRODUCTION

TR7900Q SII는 반도체 및 첨단 패키징 산업에 적합한 2.5μm 초고해상도와 25MP 이미징 기술을 갖추었습니다. AI 기반 알고리즘 및 측정 기능은 스마트 3D AOI 솔루션의 효율성을 극대화시킵니다. 3D SEMI AOI는 로더/언로더와 연동하여 스트립 및 매거진을 쉽게 다룰 수 있습니다. Stop-and-Go 3D AOI는 다이 본딩, 볼 본딩, 리본 본드, 웨지 본드, SiP, 언더필, SMD, 범프 및 솔더 조인트를 검사할 수 있습니다. 스마트 팩토리 AOI 솔루션은 와이어 직경을 최대 15μm(0.6m)까지 검사할 수 있습니다.
• 와이어 본딩 및 다이 본딩을 위한 첨단 패키지 불량 검사
• 2.5μm의 Metrology-grade* 측정 기능을 갖춘 고해상도 3D AOI
• 매거진 핸들링을 위한 로더 및 언로더 연동
• AI알고리즘을 기반으로 한 와이어 불량 검출
• Au, Al, Ag, Cu 와이어를 15 μm까지 검사
• 본드 검사: 볼 본드, 웨지 본드 및 리본 본드
• SWIR(Shortwave Infrared) 조명으로 내부 cracks and chipping* 감지
• Clean Room Class 1000 - ISO Class 6 (ISO 14644-1)
*옵션 모듈