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德律科技将于2026 SEMICON Taiwan展示先进封装次微米(Sub-µm)检测解决方案

2026/06/18

SEMICON Taiwan 2025[June 18, 2026 – Taipei, Taiwan] 全球电子制造业测试与检测设备领导品牌 德律科技股份有限公司(TRI,将参加于 2026 年 9 月 2 日至 4 日在台北南港展览馆一馆举行的 SEMICON Taiwan 2026。诚挚邀请业界先进莅临 TRI 摊位 I3210,深入了解最新的先进晶圆级封装(Advanced WLP/PLP)及半导体后段封装(SEMI Back-End Package)检测与量测解决方案。

TRI 半导体检测方案整合强大的 AI 智能检测算法、微米级量测技术及多传感器架构,并全面支持 SECS/GEM SEMI 通讯标准。应用范围涵盖 Chiplet、Chip-on-Wafer(CoW)、System-in-Package(SiP)、Advanced WLP、TSV、TGV、µBump、Cu Pillar、表面轮廓量测(Surface Topology)、薄膜厚度量测(Thin Film Thickness)、切割沟槽(Sawing Trench)及重布线层(RDL)等先进封装制程。
 
SWIR AI Inner Crack TSV 量测 晶圆自动光学检测 TGV X-Ray检测 Wire/Die Bonding制程检测
SWIR+AI TSV Metrology Wafer AVI TGV X-ray Inspection Wire 
展会期间,TRI 将展出 TR7950 晶圆检测与微米量测平台。该系统搭载 Auto Focus 自动对焦功能及高倍率显微镜,可实现次微米(Sub-µm)级高分辨率缺陷检测;同时整合 SWIR(短波红外线)相机及 TSV/薄膜量测模块,满足先进封装制程对高精度量测的需求。

此外,TRI 将首次发表全新 TR7900Q SII-P 先进封装 3D SEMI AOI 高精度检测平台。此创新系统配备 6,500 万高分辨率像素相机,分辨率达 1.2 µm,并采用双线性马达龙门架(Dual Linear Motor Gantry)设计,可实现 X-Y 轴 0.1 µm 的超高定位分辨率。

在后段封装检测方面,TRI 亦将展示 TR7007Q SII-S,适用于 C4 Bump(约 100 µm Ø)、Mini-LED 及 008004 锡膏检测等应用。此外,现场亦设置 X-Ray Inspection Demo Station,展示 TRI 半导体 AXI 解决方案,可有效检测 TGV、C4 Bump 及 Cu Pillar 等关键封装结构。

欢迎莅临 SEMICON Taiwan 2026 TRI 摊位 I3210,亲身体验 TRI 最先进的半导体检测与量测技术,共同探索智能制造与先进封装的未来发展。
 
 
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关于德律科技(TRI)

 
德律科技(TRI)提供业界完整且具竞争力的自动化测试与检测(Automatic Test & Inspection)产品组合,涵盖电子制造流程各阶段的测试与检测需求。TRI 致力于为全球客户提供高效能、高可靠度且具成本效益的解决方案。欲了解更多信息,请造访 http://www.tri.com.tw。销售与技术支持请联系:marketing@tri.com.tw 或致电 +886-2-2832-8918。