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高精度智慧晶圆检测与量测解决方案

2026/04/28

[March 24, 2026 – Taipei, Taiwan] 德律科技 (TRI) 作为电子制造产业测试与检测解决方案的领导供货商,宣布推出 TR7950Q SII 系列。此高度模块化的平台专为后段制程(Back End Process)与先进封装检测而设计,涵盖从图形制程(patterning)到晶圆切割(wafer saw)的各个环节,并致力于为晶圆检测与微量测技术树立全新标准。

TR7950Q SII 为一款搭载 AI 技术的晶圆量测与检测平台,采用高稳定性的花岗岩平台设计,并支持 6 吋至 12 吋晶圆。该平台具备强大的自动光学检测(AVI)功能,可高速检测各类表面缺陷,包括微粒、刮痕、崩边、污染及异物等。

选配的短波红外线(SWIR)模块可穿透硅材料,侦测标准传感器无法发现的内部裂纹与次表层缺陷。针对高解析需求,平台亦提供 0.5 µm 或 1 µm 的高解析影像能力,透过 3D DFF(深度对焦Depth from Focus)模块实现精细量测。

TR7950Q SII 同时具备高精度量测能力,可用于晶圆厚度、上表面翘曲及复杂表面形貌分析,并支持高速感测,用于穿硅通孔(TSV)深度、沟槽尺寸、薄膜以及小芯片(Chiplet) 等关键参数量测。

欲了解更多关于 TR7950Q SII 的信息,请参考以下链接:
https://www.tri.com.tw/en/product/product_detail-85-2-1881-1.html
 
 
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关于德律科技(TRI)
 
德律科技拥有业界完整的自动化测试与检测解决方案产品线。欲了解更多信息,请造访 www.tri.com.tw。如需销售与技术服务支持,请来信至 marketing@tri.com.tw 或致电 +886-2-2832 8918。