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德律科技將於2026 SEMICON Taiwan展示先進封裝次微米(Sub-µm)檢測解決方案

2026/06/18

SEMICON Taiwan 2025[June 18, 2026 – Taipei, Taiwan] 全球電子製造業測試與檢測設備領導品牌 德律科技股份有限公司(TRI,將參加於 2026 年 9 月 2 日至 4 日在台北南港展覽館一館舉行的 SEMICON Taiwan 2026。誠摯邀請業界先進蒞臨 TRI 攤位 I3210,深入了解最新的先進晶圓級封裝(Advanced WLP/PLP)及半導體後段封裝(SEMI Back-End Package)檢測與量測解決方案。

TRI 半導體檢測方案整合強大的 AI 智慧檢測演算法、微米級量測技術及多感測器架構,並全面支援 SECS/GEM SEMI 通訊標準。應用範圍涵蓋 Chiplet、Chip-on-Wafer(CoW)、System-in-Package(SiP)、Advanced WLP、TSV、TGV、µBump、Cu Pillar、表面輪廓量測(Surface Topology)、薄膜厚度量測(Thin Film Thickness)、切割溝槽(Sawing Trench)及重佈線層(RDL)等先進封裝製程。
 
SWIR AI Inner Crack TSV Metrology Wafer AVI TGV X-ray Inspection Wire-Die Bonding
SWIR+AI TSV Metrology Wafer AVI TGV X-ray Inspection Wire 
展會期間,TRI 將展出 TR7950 晶圓檢測與微米量測平台。該系統搭載 Auto Focus 自動對焦功能及高倍率顯微鏡,可實現次微米(Sub-µm)級高解析度缺陷檢測;同時整合 SWIR(短波紅外線)相機及 TSV/薄膜量測模組,滿足先進封裝製程對高精度量測的需求。

此外,TRI 將首次發表全新 TR7900Q SII-P 先進封裝 3D SEMI AOI 高精度檢測平台。此創新系統配備 6,500 萬高解析度像素相機,解析度達 1.2 µm,並採用雙線性馬達龍門架(Dual Linear Motor Gantry)設計,可實現 X-Y 軸 0.1 µm 的超高定位解析度。

在後段封裝檢測方面,TRI 亦將展示 TR7007Q SII-S,適用於 C4 Bump(約 100 µm Ø)、Mini-LED 及 008004 錫膏檢測等應用。此外,現場亦設置 X-Ray Inspection Demo Station,展示 TRI 半導體 AXI 解決方案,可有效檢測 TGV、C4 Bump 及 Cu Pillar 等關鍵封裝結構。

歡迎蒞臨 SEMICON Taiwan 2026 TRI 攤位 I3210,親身體驗 TRI 最先進的半導體檢測與量測技術,共同探索智慧製造與先進封裝的未來發展。
 
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關於德律科技(TRI)

德律科技(TRI)提供業界完整且具競爭力的自動化測試與檢測(Automatic Test & Inspection)產品組合,涵蓋電子製造流程各階段的測試與檢測需求。TRI 致力於為全球客戶提供高效能、高可靠度且具成本效益的解決方案。欲了解更多資訊,請造訪 http://www.tri.com.tw。銷售與技術支援請聯繫:marketing@tri.com.tw 或致電 +886-2-2832-8918。