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NEWS2026/04/28

高精度智慧晶圓檢測與量測解決方案
TRI productronica China 2026[April 28, 2026 – Taipei, Taiwan] 德律科技 (TRI, TWSE:3030) 作為電子製造產業測試與檢測解決方案的領導供應商,宣布推出 TR7950Q SII 系列。此高度模組化的平台專為後段製程(Back End Process)與先進封裝檢測而設計,涵蓋從圖形製程(patterning)到晶圓切割(wafer saw)的各個環節,並致力於為晶圓檢測與微量測技術樹立全新標準。

TR7950Q SII 為一款搭載 AI 技術的晶圓量測與檢測平台,採用高穩定性的花崗岩平台設計,並支援 6 吋至 12 吋晶圓。該平台具備強大的自動光學檢測(AVI)功能,可高速檢測各類表面缺陷,包括微粒、刮痕、崩邊、污染及異物等。

選配的短波紅外線(SWIR)模組可穿透矽材料,偵測標準感測器無法發現的內部裂紋與次表層缺陷。針對高解析需求,平台亦提供 0.5 µm 或 1 µm 的高解析影像能力,透過 3D DFF(深度對焦Depth from Focus)模組實現精細量測。

TR7950Q SII 同時具備高精度量測能力,可用於晶圓厚度、上表面翹曲及複雜表面形貌分析,並支援高速感測,用於穿矽穿孔(TSV)深度、溝槽尺寸、薄膜以及小晶片(Chiplet) 等關鍵參數量測。

欲了解更多關於 TR7950Q SII 的資訊,請參考以下連結:
https://www.tri.com.tw/en/product/product_detail-85-2-1881-1.html


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關於德律科技 (TRI)
德律科技股份有限公司(TWSE:3030)提供具成本效益的製造測試與檢測整體解決方案,涵蓋從光學檢測到電路板測試的完整需求。更多資訊請造訪 http://www.tri.com.tw。 銷售與服務洽詢請來信:marketing@tri.com.tw,或致電 +886-2-2832-8918。