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装置ラインアップ

自動X線検査装置(AXI)

TR7600F3D LL SII

INTRODUCTION

TR7600F3D LL SII は、CT機能を搭載した最新の高速3D AXIで、最大1000×660mmの大型基板サイズの検査に対応しています。TR7600F3D LL SII は、生産ラインのサイクルタイムを犠牲にすることなく、見逃しや誤報を低減します。 "
• 最大1000×660mmの大型基板検査用スマート3D AXIソリューション
• 最小5 µmの解像度で包括的な欠陥検出を実現
• 次世代のメカニカルデザインで10FOV/sまでの高速化を実現
• MESとの接続が容易なIndustry 4.0ソリューション